浙江理工大学学报
浙江理工大學學報
절강리공대학학보
JOURNAL OF ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY
2006年
3期
289-292
,共4页
王耐艳%姚奎鸿%沃银花%李晔%王勇
王耐豔%姚奎鴻%沃銀花%李曄%王勇
왕내염%요규홍%옥은화%리엽%왕용
热力学函数%Si3N4粉体%制备工艺
熱力學函數%Si3N4粉體%製備工藝
열역학함수%Si3N4분체%제비공예
根据热力学相关理论,利用基本函数ΔrH0T、ΔG0T 、Kp在Si3N4粉体制备过程中的变化特征,分析了典型Si3N4粉体合成工艺的反应进行趋势,生成相的化学组成、稳定性,合成工艺最大转化率以及发展动向,讨论了过程可控和获得高纯、优质Si3N4粉体的热力学条件,开发优质、低能耗、高产率以适应工业化批量生产的Si3N4粉体合成工艺,流态化CVD是一条重要途径.
根據熱力學相關理論,利用基本函數ΔrH0T、ΔG0T 、Kp在Si3N4粉體製備過程中的變化特徵,分析瞭典型Si3N4粉體閤成工藝的反應進行趨勢,生成相的化學組成、穩定性,閤成工藝最大轉化率以及髮展動嚮,討論瞭過程可控和穫得高純、優質Si3N4粉體的熱力學條件,開髮優質、低能耗、高產率以適應工業化批量生產的Si3N4粉體閤成工藝,流態化CVD是一條重要途徑.
근거열역학상관이론,이용기본함수ΔrH0T、ΔG0T 、Kp재Si3N4분체제비과정중적변화특정,분석료전형Si3N4분체합성공예적반응진행추세,생성상적화학조성、은정성,합성공예최대전화솔이급발전동향,토론료과정가공화획득고순、우질Si3N4분체적열역학조건,개발우질、저능모、고산솔이괄응공업화비량생산적Si3N4분체합성공예,류태화CVD시일조중요도경.
