传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2007年
1期
54-57
,共4页
李志全%张冉%张乐欣%杨红艳%朱丹丹%白志华
李誌全%張冉%張樂訢%楊紅豔%硃丹丹%白誌華
리지전%장염%장악흔%양홍염%주단단%백지화
多孔硅微腔%种类辨别%传输矩阵%Bruggeman介电常数近似理论%毛细冷凝%反射谱
多孔硅微腔%種類辨彆%傳輸矩陣%Bruggeman介電常數近似理論%毛細冷凝%反射譜
다공규미강%충류변별%전수구진%Bruggeman개전상수근사이론%모세냉응%반사보
当有机物分子吸附到多孔硅表面时,由于有机物分子在多孔硅的孔内的毛细冷凝作用,将引起多孔硅层有效折射率的变化,从而导致多孔硅微腔反射谱吸收峰峰位的变化.本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与传输矩阵的方法,建立了多孔硅微腔的传感模型.使用多孔硅微腔的反射谱实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验,结果证明多孔硅微腔传感元件可以实现对有机物蒸汽的检测,且分辨率较高,响应时间和恢复时间短,可重复性好.
噹有機物分子吸附到多孔硅錶麵時,由于有機物分子在多孔硅的孔內的毛細冷凝作用,將引起多孔硅層有效摺射率的變化,從而導緻多孔硅微腔反射譜吸收峰峰位的變化.本文主要利用Bruggeman介電常數近似理論與傳輸矩陣的方法,建立瞭多孔硅微腔的傳感模型.使用多孔硅微腔的反射譜實驗裝置對多孔硅微腔進行瞭傳感實驗,結果證明多孔硅微腔傳感元件可以實現對有機物蒸汽的檢測,且分辨率較高,響應時間和恢複時間短,可重複性好.
당유궤물분자흡부도다공규표면시,유우유궤물분자재다공규적공내적모세냉응작용,장인기다공규층유효절사솔적변화,종이도치다공규미강반사보흡수봉봉위적변화.본문주요이용Bruggeman개전상수근사이론여전수구진적방법,건립료다공규미강적전감모형.사용다공규미강적반사보실험장치대다공규미강진행료전감실험,결과증명다공규미강전감원건가이실현대유궤물증기적검측,차분변솔교고,향응시간화회복시간단,가중복성호.
