机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2009年
4期
187-191
,共5页
局域电导率%四电极方法%原子力显微镜%导电薄膜
跼域電導率%四電極方法%原子力顯微鏡%導電薄膜
국역전도솔%사전겁방법%원자력현미경%도전박막
开发了基于原子力显微镜(Atomic force microscope,ArM)的四电极微探针局域电导率测量技术.四电极AFM探针最小的电极间距为300 nm,安装了这种新型四电极微探针的AFM系统既保持表面微观形貌测量能力,又可以在实施表面形貌扫描的同时测定局域电导率.利用该技术精确测量了厚度为6.0μm的铝薄膜和厚度为350nm的透明导电氧化铟薄膜(Indiumtin oxide,ITO)的局域电导率,试验结果证明基于AFM的四电极微探针技术在亚微米局域电导率测量方面的能力.
開髮瞭基于原子力顯微鏡(Atomic force microscope,ArM)的四電極微探針跼域電導率測量技術.四電極AFM探針最小的電極間距為300 nm,安裝瞭這種新型四電極微探針的AFM繫統既保持錶麵微觀形貌測量能力,又可以在實施錶麵形貌掃描的同時測定跼域電導率.利用該技術精確測量瞭厚度為6.0μm的鋁薄膜和厚度為350nm的透明導電氧化銦薄膜(Indiumtin oxide,ITO)的跼域電導率,試驗結果證明基于AFM的四電極微探針技術在亞微米跼域電導率測量方麵的能力.
개발료기우원자력현미경(Atomic force microscope,ArM)적사전겁미탐침국역전도솔측량기술.사전겁AFM탐침최소적전겁간거위300 nm,안장료저충신형사전겁미탐침적AFM계통기보지표면미관형모측량능력,우가이재실시표면형모소묘적동시측정국역전도솔.이용해기술정학측량료후도위6.0μm적려박막화후도위350nm적투명도전양화인박막(Indiumtin oxide,ITO)적국역전도솔,시험결과증명기우AFM적사전겁미탐침기술재아미미국역전도솔측량방면적능력.
