机电工程技术
機電工程技術
궤전공정기술
MACHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY
2010年
5期
71-74
,共4页
模糊控制%PI控制%真空蒸发镀膜
模糊控製%PI控製%真空蒸髮鍍膜
모호공제%PI공제%진공증발도막
针对真空蒸发镀膜工艺过程的非线性、时变,溅料问题难以控制的特点,在传统的PI控制基础上引进模糊箅子,采用模糊PI的控制方法,发挥了PI控制结构简单、适用性强、稳态无误差等优点和模糊控制可以有更快的响应和更小的超调,对过程参数的变化也不敏感,具有较强的鲁棒性,可以克服非线性因素影响的优点,在镀膜工艺中取得了较好的控制效果,并可以推广到同行业和相关领域.
針對真空蒸髮鍍膜工藝過程的非線性、時變,濺料問題難以控製的特點,在傳統的PI控製基礎上引進模糊箄子,採用模糊PI的控製方法,髮揮瞭PI控製結構簡單、適用性彊、穩態無誤差等優點和模糊控製可以有更快的響應和更小的超調,對過程參數的變化也不敏感,具有較彊的魯棒性,可以剋服非線性因素影響的優點,在鍍膜工藝中取得瞭較好的控製效果,併可以推廣到同行業和相關領域.
침대진공증발도막공예과정적비선성、시변,천료문제난이공제적특점,재전통적PI공제기출상인진모호폐자,채용모호PI적공제방법,발휘료PI공제결구간단、괄용성강、은태무오차등우점화모호공제가이유경쾌적향응화경소적초조,대과정삼수적변화야불민감,구유교강적로봉성,가이극복비선성인소영향적우점,재도막공예중취득료교호적공제효과,병가이추엄도동행업화상관영역.
