工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2010年
8期
100-102
,共3页
圆度%微位移%位置敏感探测器%最小二乘法
圓度%微位移%位置敏感探測器%最小二乘法
원도%미위이%위치민감탐측기%최소이승법
圆度误差的测量是长度计量中一个重要项目,它的测量常转化成对位移的测量.本文采用光电技术对其进行测量,提出了一种基于理想光组轴向放大率理论来实现微位移的放大,并通过采用位置敏感探测器(PSD)将光斑像点的位移转化为电信号的输出,从而实现位移与电信号的转化;在测量圆度的同时,采用圆光栅来测量工件转角,实现整周的圆轮廓实时记录;对于圆度误差的评定采用最小二乘法.
圓度誤差的測量是長度計量中一箇重要項目,它的測量常轉化成對位移的測量.本文採用光電技術對其進行測量,提齣瞭一種基于理想光組軸嚮放大率理論來實現微位移的放大,併通過採用位置敏感探測器(PSD)將光斑像點的位移轉化為電信號的輸齣,從而實現位移與電信號的轉化;在測量圓度的同時,採用圓光柵來測量工件轉角,實現整週的圓輪廓實時記錄;對于圓度誤差的評定採用最小二乘法.
원도오차적측량시장도계량중일개중요항목,타적측량상전화성대위이적측량.본문채용광전기술대기진행측량,제출료일충기우이상광조축향방대솔이론래실현미위이적방대,병통과채용위치민감탐측기(PSD)장광반상점적위이전화위전신호적수출,종이실현위이여전신호적전화;재측량원도적동시,채용원광책래측량공건전각,실현정주적원륜곽실시기록;대우원도오차적평정채용최소이승법.