CAJ | 학술논문

应用动态膜技术回收半导体厂晶片切割废水,研究了动态膜的形成条件及其水处理效果.通过恒压过滤形成动态膜:恒压过滤压差5 kPa,曝气强度10 L/min,过滤高浓度(TS＝1 800 mg/L)含硅废水,形成了均匀而阻力较小的动态膜;之后在一定的过滤运行条件下,研究膜过滤低浓度晶片切割废水的运行周期和水处理效果:要处理的废水TS(总固形物)=40mg/L,恒速过滤滤速为0.6 m/d,曝气量为15 L/min.结果表明:该动态膜可保护基膜不被污染,维持较长的过滤周期,稳定运行时间达260～360 h.膜过滤单元中的TS(总固形物)可被浓缩达到1 200 mg/L.动态膜对原水浊度、TS的去除效果很好,产水水质稳定,浊度为0.14NTU,TS几乎为0,SDI15为0.5,电导率为12μS/cm,满足反渗透深度处理的进水要求.当压力上升至14 kPa时,排出浓缩液、用产水冲刷清洗基膜表面的滤饼层,以回收高纯硅,同时基膜经过擦洗后通量可以完全恢复.
응용동태막기술회수반도체엄정편절할폐수,연구료동태막적형성조건급기수처리효과.통과항압과려형성동태막:항압과려압차5 kPa,폭기강도10 L/min,과려고농도(TS＝1 800 mg/L)함규폐수,형성료균균이조력교소적동태막;지후재일정적과려운행조건하,연구막과려저농도정편절할폐수적운행주기화수처리효과:요처리적폐수TS(총고형물)=40mg/L,항속과려려속위0.6 m/d,폭기량위15 L/min.결과표명:해동태막가보호기막불피오염,유지교장적과려주기,은정운행시간체260～360 h.막과려단원중적TS(총고형물)가피농축체도1 200 mg/L.동태막대원수탁도、TS적거제효과흔호,산수수질은정,탁도위0.14NTU,TS궤호위0,SDI15위0.5,전도솔위12μS/cm,만족반삼투심도처리적진수요구.당압력상승지14 kPa시,배출농축액、용산수충쇄청세기막표면적려병층,이회수고순규,동시기막경과찰세후통량가이완전회복.