无机化学学报
無機化學學報
무궤화학학보
JOURNAL OF INORGANIC CHEMISTRY
2011年
1期
135-140
,共6页
图案化%光照%电子%空穴%迁移率
圖案化%光照%電子%空穴%遷移率
도안화%광조%전자%공혈%천이솔
比较了3种具有羟基表面SiO2层的差异:紫外光照SAMs形成的羟基表面,紫外光照射前、照射后的羟基表面;用光照前后表面的差异,结合化学浴沉积技术在单晶硅基底上制得了TiO2微图案薄膜.系统考察了光源、硅片表面性质的变化、溶液等方面对图案生成的影响.实验表明TiO2沉积在未照区,电子和空穴动力学上的差异造成光照区表面正电荷增多,抑制了TiO2的沉积.该方法不需要光刻胶和自组装膜作为辅助模板,具有简单廉价的特点.
比較瞭3種具有羥基錶麵SiO2層的差異:紫外光照SAMs形成的羥基錶麵,紫外光照射前、照射後的羥基錶麵;用光照前後錶麵的差異,結閤化學浴沉積技術在單晶硅基底上製得瞭TiO2微圖案薄膜.繫統攷察瞭光源、硅片錶麵性質的變化、溶液等方麵對圖案生成的影響.實驗錶明TiO2沉積在未照區,電子和空穴動力學上的差異造成光照區錶麵正電荷增多,抑製瞭TiO2的沉積.該方法不需要光刻膠和自組裝膜作為輔助模闆,具有簡單廉價的特點.
비교료3충구유간기표면SiO2층적차이:자외광조SAMs형성적간기표면,자외광조사전、조사후적간기표면;용광조전후표면적차이,결합화학욕침적기술재단정규기저상제득료TiO2미도안박막.계통고찰료광원、규편표면성질적변화、용액등방면대도안생성적영향.실험표명TiO2침적재미조구,전자화공혈동역학상적차이조성광조구표면정전하증다,억제료TiO2적침적.해방법불수요광각효화자조장막작위보조모판,구유간단렴개적특점.
