红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2012年
1期
44-47
,共4页
孙艳军%冷雁冰%陈哲%董连和
孫豔軍%冷雁冰%陳哲%董連和
손염군%랭안빙%진철%동련화
自由曲面%变剂量曝光%光刻%蚀刻
自由麯麵%變劑量曝光%光刻%蝕刻
자유곡면%변제량폭광%광각%식각
针对自由曲面无固定解析式的特点,根据感光材料的光化学作用原理,以及曝光能量与曝光深度的制约关系,提出采用变剂量曝光的光刻方法制作自由曲面光学微器件.从光传播理论出发,分析了曝光过程光刻胶中光能量分布规律和曝光深度随曝光能量的变化关系,建立了光分布规律的数学模型,并应用计算机软件对模型进行仿真.结果表明:光能量在胶膜内呈规律性分布,在能量一定的情况下曝光深度随时间规律性增加,并逐渐达到饱和.同时,应用长春理工大学BOL500型复合坐标激光直写系统,选用美国Futurrex62A光刻胶、波长412 nm He-Ge气体激光器、5％NaOH显影液进行曝光及显影实验,所得实验数据与仿真结果吻合.
針對自由麯麵無固定解析式的特點,根據感光材料的光化學作用原理,以及曝光能量與曝光深度的製約關繫,提齣採用變劑量曝光的光刻方法製作自由麯麵光學微器件.從光傳播理論齣髮,分析瞭曝光過程光刻膠中光能量分佈規律和曝光深度隨曝光能量的變化關繫,建立瞭光分佈規律的數學模型,併應用計算機軟件對模型進行倣真.結果錶明:光能量在膠膜內呈規律性分佈,在能量一定的情況下曝光深度隨時間規律性增加,併逐漸達到飽和.同時,應用長春理工大學BOL500型複閤坐標激光直寫繫統,選用美國Futurrex62A光刻膠、波長412 nm He-Ge氣體激光器、5％NaOH顯影液進行曝光及顯影實驗,所得實驗數據與倣真結果吻閤.
침대자유곡면무고정해석식적특점,근거감광재료적광화학작용원리,이급폭광능량여폭광심도적제약관계,제출채용변제량폭광적광각방법제작자유곡면광학미기건.종광전파이론출발,분석료폭광과정광각효중광능량분포규률화폭광심도수폭광능량적변화관계,건립료광분포규률적수학모형,병응용계산궤연건대모형진행방진.결과표명:광능량재효막내정규률성분포,재능량일정적정황하폭광심도수시간규률성증가,병축점체도포화.동시,응용장춘리공대학BOL500형복합좌표격광직사계통,선용미국Futurrex62A광각효、파장412 nm He-Ge기체격광기、5％NaOH현영액진행폭광급현영실험,소득실험수거여방진결과문합.
