原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
6期
749-753
,共5页
廖国%何智兵%陈太红%许华%李俊%谌加军
廖國%何智兵%陳太紅%許華%李俊%諶加軍
료국%하지병%진태홍%허화%리준%심가군
直流磁控溅射%Bi薄膜%溅射功率
直流磁控濺射%Bi薄膜%濺射功率
직류자공천사%Bi박막%천사공솔
采用直流磁控溅射方法在不同功率下制备了铋(Bi)薄膜,对薄膜的沉积速率、表面形貌、生长模式、晶体结构进行了研究,并对其晶粒尺寸和应力的变化规律进行了分析.扫描电镜(SEM)图像显示:薄膜均为柱状生长,平均晶粒尺寸随溅射功率先增大后减小,薄膜的致密度随着功率的增加而降低,在60 W时又变得较致密.X射线衍射(XRD)结果表明:Bi薄膜均为多晶斜六方结构,薄膜内应力随功率的增加由张应力变为压应力.
採用直流磁控濺射方法在不同功率下製備瞭鉍(Bi)薄膜,對薄膜的沉積速率、錶麵形貌、生長模式、晶體結構進行瞭研究,併對其晶粒呎吋和應力的變化規律進行瞭分析.掃描電鏡(SEM)圖像顯示:薄膜均為柱狀生長,平均晶粒呎吋隨濺射功率先增大後減小,薄膜的緻密度隨著功率的增加而降低,在60 W時又變得較緻密.X射線衍射(XRD)結果錶明:Bi薄膜均為多晶斜六方結構,薄膜內應力隨功率的增加由張應力變為壓應力.
채용직류자공천사방법재불동공솔하제비료필(Bi)박막,대박막적침적속솔、표면형모、생장모식、정체결구진행료연구,병대기정립척촌화응력적변화규률진행료분석.소묘전경(SEM)도상현시:박막균위주상생장,평균정립척촌수천사공솔선증대후감소,박막적치밀도수착공솔적증가이강저,재60 W시우변득교치밀.X사선연사(XRD)결과표명:Bi박막균위다정사륙방결구,박막내응력수공솔적증가유장응력변위압응력.
