CAJ | 학술논문

MEMS可编程光栅的工作性能很大程度依赖于驱动电路的性能.本文根据MEMS可编程光栅的工作特点及结构参数,提取出光栅的等效电容值,并采用集成高压运放研制出一种新型的MEMS可编程光栅的动态驱动电路.为了避免自激振荡的发生,电路中采用了频率补偿和并联反馈电容的方法,有效提高了电路的稳定性.实际电路经过测试,其动态性能与PSPICE10仿真的结果非常吻合.该动态驱动电路具有高的电压输出范围(0～180 V),较高的频率响应(10 kHz),大范围容性负载能力(1～1 000 pF),完全能够满足MEMS可编程光栅动态复杂控制的需要.
MEMS가편정광책적공작성능흔대정도의뢰우구동전로적성능.본문근거MEMS가편정광책적공작특점급결구삼수,제취출광책적등효전용치,병채용집성고압운방연제출일충신형적MEMS가편정광책적동태구동전로.위료피면자격진탕적발생,전로중채용료빈솔보상화병련반궤전용적방법,유효제고료전로적은정성.실제전로경과측시,기동태성능여PSPICE10방진적결과비상문합.해동태구동전로구유고적전압수출범위(0～180 V),교고적빈솔향응(10 kHz),대범위용성부재능력(1～1 000 pF),완전능구만족MEMS가편정광책동태복잡공제적수요.