微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
7期
428-432
,共5页
张栋%张玉林%李现明%魏强
張棟%張玉林%李現明%魏彊
장동%장옥림%리현명%위강
扫描电化学显微镜%压电工作台%运动定位%控制器%迟滞模型
掃描電化學顯微鏡%壓電工作檯%運動定位%控製器%遲滯模型
소묘전화학현미경%압전공작태%운동정위%공제기%지체모형
为适应扫描电化学显微镜(SECM)常规应用中100 nm左右的微定位精度需求,同时降低其微定位控制器的成本,在分析SECM压电工作台运动定位数学模型的基础上,结合SECM实际应用中的特点,将压电工作台数学模型进行了合理的简化,并在此基础上设计了算法简单且易于实现的开环微定位控制器.以CH1900B型扫描电化学显微镜的三维压电工作台为实验对象进行建模和控制器设计,实验结果表明,压电工作台运动定位平均跟踪误差和最大跟踪误差分别为0.093、0.115μm,误差约0.1 μm,可满足SECM常规应用中的微定位精度需求.建模过程和控制器设计简单易行且无须额外的微定位传感器,适于SECM的常规应用.
為適應掃描電化學顯微鏡(SECM)常規應用中100 nm左右的微定位精度需求,同時降低其微定位控製器的成本,在分析SECM壓電工作檯運動定位數學模型的基礎上,結閤SECM實際應用中的特點,將壓電工作檯數學模型進行瞭閤理的簡化,併在此基礎上設計瞭算法簡單且易于實現的開環微定位控製器.以CH1900B型掃描電化學顯微鏡的三維壓電工作檯為實驗對象進行建模和控製器設計,實驗結果錶明,壓電工作檯運動定位平均跟蹤誤差和最大跟蹤誤差分彆為0.093、0.115μm,誤差約0.1 μm,可滿足SECM常規應用中的微定位精度需求.建模過程和控製器設計簡單易行且無鬚額外的微定位傳感器,適于SECM的常規應用.
위괄응소묘전화학현미경(SECM)상규응용중100 nm좌우적미정위정도수구,동시강저기미정위공제기적성본,재분석SECM압전공작태운동정위수학모형적기출상,결합SECM실제응용중적특점,장압전공작태수학모형진행료합리적간화,병재차기출상설계료산법간단차역우실현적개배미정위공제기.이CH1900B형소묘전화학현미경적삼유압전공작태위실험대상진행건모화공제기설계,실험결과표명,압전공작태운동정위평균근종오차화최대근종오차분별위0.093、0.115μm,오차약0.1 μm,가만족SECM상규응용중적미정위정도수구.건모과정화공제기설계간단역행차무수액외적미정위전감기,괄우SECM적상규응용.
