传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
9期
74-76
,共3页
微波烧结%纳米ZnO%气敏性能%稳定性
微波燒結%納米ZnO%氣敏性能%穩定性
미파소결%납미ZnO%기민성능%은정성
分析了微波烧结的原理和特点,并将其引入气敏元件的制备工艺中,研究微波烧结工艺对纯纳米ZnO厚膜阵列元件的气敏性和稳定性的影响.实验表明:微波烧结ZnO厚膜时间越长,厚膜电导和敏感性越小.在20,40,60 min 3种烧结对比中,20 min烧结的元件具有最好的敏感性和最低的最佳敏感温度,60min烧结的元件具有最好的稳定性.可见微波烧结可以有效调控气敏元件的敏感性和稳定性,是一种值得推广的新的气敏元件的制备技术.
分析瞭微波燒結的原理和特點,併將其引入氣敏元件的製備工藝中,研究微波燒結工藝對純納米ZnO厚膜陣列元件的氣敏性和穩定性的影響.實驗錶明:微波燒結ZnO厚膜時間越長,厚膜電導和敏感性越小.在20,40,60 min 3種燒結對比中,20 min燒結的元件具有最好的敏感性和最低的最佳敏感溫度,60min燒結的元件具有最好的穩定性.可見微波燒結可以有效調控氣敏元件的敏感性和穩定性,是一種值得推廣的新的氣敏元件的製備技術.
분석료미파소결적원리화특점,병장기인입기민원건적제비공예중,연구미파소결공예대순납미ZnO후막진렬원건적기민성화은정성적영향.실험표명:미파소결ZnO후막시간월장,후막전도화민감성월소.재20,40,60 min 3충소결대비중,20 min소결적원건구유최호적민감성화최저적최가민감온도,60min소결적원건구유최호적은정성.가견미파소결가이유효조공기민원건적민감성화은정성,시일충치득추엄적신적기민원건적제비기술.
