CAJ | 학술논문

研究了碲锌镉(CZT)晶片表面的机械研磨和机械抛光工艺.采用不同粒度的Al2O3磨料对CZT晶体表面进行机械研磨和机械抛光,并研究了工艺参数变化对CZT晶体表面质量、粗糙度、研磨速度和抛光速度的影响.结果表明,机械研磨采用粒度2.5μm的Al2O3磨料,最佳的研磨压力和研磨盘转速分别为120g/cm.和75r/min,研磨速度为1μm/min;机械抛光采用粒度0.5μm的Al2O3抛光液,最佳的抛光液浓度为6.5%(质量分数),抛光速度为0.28μm/min.AFM测试得到机械研磨后晶片表面粗糙度Ra值为13.83nm,机械抛光4h后,Ra降低到4.22nm.
연구료제자력(CZT)정편표면적궤계연마화궤계포광공예.채용불동립도적Al2O3마료대CZT정체표면진행궤계연마화궤계포광,병연구료공예삼수변화대CZT정체표면질량、조조도、연마속도화포광속도적영향.결과표명,궤계연마채용립도2.5μm적Al2O3마료,최가적연마압력화연마반전속분별위120g/cm.화75r/min,연마속도위1μm/min;궤계포광채용립도0.5μm적Al2O3포광액,최가적포광액농도위6.5%(질량분수),포광속도위0.28μm/min.AFM측시득도궤계연마후정편표면조조도Ra치위13.83nm,궤계포광4h후,Ra강저도4.22nm.