制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2003年
11期
41-43
,共3页
孙宝玉%林洁琼%王登月%梁淑卿%任建岳
孫寶玉%林潔瓊%王登月%樑淑卿%任建嶽
손보옥%림길경%왕등월%량숙경%임건악
线性驱动%磁悬浮技术%进给机构%直线同步电动机%数字PID控制
線性驅動%磁懸浮技術%進給機構%直線同步電動機%數字PID控製
선성구동%자현부기술%진급궤구%직선동보전동궤%수자PID공제
设计了一种集磁悬浮技术和线性驱动技术为一体的精密磁悬浮进给机构.这种机构采用直线同步电动机对悬浮平台进给机构提供驱动力,实现了进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向,具有响应快速、刚度高以及定位精确的特点,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要.文章还对磁悬浮力和直线电动机推力进行了分析计算.
設計瞭一種集磁懸浮技術和線性驅動技術為一體的精密磁懸浮進給機構.這種機構採用直線同步電動機對懸浮平檯進給機構提供驅動力,實現瞭進給機構在水平和垂直兩方嚮的無接觸支撐和導嚮,具有響應快速、剛度高以及定位精確的特點,能夠滿足微電子設備高精度、高效率和超潔淨加工的需要.文章還對磁懸浮力和直線電動機推力進行瞭分析計算.
설계료일충집자현부기술화선성구동기술위일체적정밀자현부진급궤구.저충궤구채용직선동보전동궤대현부평태진급궤구제공구동력,실현료진급궤구재수평화수직량방향적무접촉지탱화도향,구유향응쾌속、강도고이급정위정학적특점,능구만족미전자설비고정도、고효솔화초길정가공적수요.문장환대자현부력화직선전동궤추력진행료분석계산.
