等离子体在零件表面强化与改性中的应用
등리자체재령건표면강화여개성중적응용
Application of Plasma in the Field for the Part of Surface Enhancement and Modification
  • 万方数据
    制造技术与机床 제조기술여궤상
    MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
    2004年 2期 44-45,50 ,共3页

    彭丽平%马国佳%张华芳%蒋艳莉%武洪臣

    팽려평%마국가%장화방%장염리%무홍신

    离子注入与沉积%微波ECR等离子体源MEVVA源%涂层 離子註入與沉積%微波ECR等離子體源MEVVA源%塗層
    리자주입여침적%미파ECR등리자체원MEVVA원%도층
    离子注入与沉积技术在诸多领域有着广泛的应用.文章主要介绍微波ECR与MEVVA等离子体源及其相关设备的工艺特点,同时也介绍了它们在材料表面改性等方面的一些实际应用情况.
    리자주입여침적기술재제다영역유착엄범적응용.문장주요개소미파ECR여MEVVA등리자체원급기상관설비적공예특점,동시야개소료타문재재료표면개성등방면적일사실제응용정황.
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