电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2006年
7期
69-71
,共3页
方华斌%刘景全%董璐%陈迪%蔡炳初
方華斌%劉景全%董璐%陳迪%蔡炳初
방화빈%류경전%동로%진적%채병초
电子技术%微拾振器%微机电系统%固有频率%电压输出
電子技術%微拾振器%微機電繫統%固有頻率%電壓輸齣
전자기술%미습진기%미궤전계통%고유빈솔%전압수출
采用微机电系统(MEMS)技术制作了悬臂梁式压电微拾振器,该技术主要包括:sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺.研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为:长2 000 μm,宽600 μm,硅膜厚度12 μm,PZT压电膜厚1.5 μm,Ni质量块长600 μm、高500 μm.测试表明其固有频率为610 Hz,适合低频振动源环境的应用.在1 gn加速度谐振激励下,电压输出达562 mV.
採用微機電繫統(MEMS)技術製作瞭懸臂樑式壓電微拾振器,該技術主要包括:sol-gel法製備PZT壓電膜、榦法刻蝕、濕法化學刻蝕、UV-LIGA等工藝.研製的拾振器懸臂樑結構呎吋為:長2 000 μm,寬600 μm,硅膜厚度12 μm,PZT壓電膜厚1.5 μm,Ni質量塊長600 μm、高500 μm.測試錶明其固有頻率為610 Hz,適閤低頻振動源環境的應用.在1 gn加速度諧振激勵下,電壓輸齣達562 mV.
채용미궤전계통(MEMS)기술제작료현비량식압전미습진기,해기술주요포괄:sol-gel법제비PZT압전막、간법각식、습법화학각식、UV-LIGA등공예.연제적습진기현비량결구척촌위:장2 000 μm,관600 μm,규막후도12 μm,PZT압전막후1.5 μm,Ni질량괴장600 μm、고500 μm.측시표명기고유빈솔위610 Hz,괄합저빈진동원배경적응용.재1 gn가속도해진격려하,전압수출체562 mV.
