真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
5期
536-540
,共5页
岳美琼%魏贤华%滕元成%黄俊俊
嶽美瓊%魏賢華%滕元成%黃俊俊
악미경%위현화%등원성%황준준
沉积温度%YBiO3缓冲层%脉冲激光沉积%外延生长
沉積溫度%YBiO3緩遲層%脈遲激光沉積%外延生長
침적온도%YBiO3완충층%맥충격광침적%외연생장
采用脉冲激光沉积(PLD)方法,在LaAlO3(001)基片上研究了沉积温度对用作高温超导带材缓冲层YBiO3结晶的影响.结果表明,随着沉积温度的升高,YBiO3缓冲层结晶质量提高,取向趋于完美,表面较为平整.当沉积温度为700℃时,单晶外延的YBiO3与LaAlO3基片的外延关系为:YBiO3(001)// LaAlO3(001)和YBiO3[110]//LaAlO3[100],其晶格失配度为1.3%,平均粗糙度约为3.4nm.
採用脈遲激光沉積(PLD)方法,在LaAlO3(001)基片上研究瞭沉積溫度對用作高溫超導帶材緩遲層YBiO3結晶的影響.結果錶明,隨著沉積溫度的升高,YBiO3緩遲層結晶質量提高,取嚮趨于完美,錶麵較為平整.噹沉積溫度為700℃時,單晶外延的YBiO3與LaAlO3基片的外延關繫為:YBiO3(001)// LaAlO3(001)和YBiO3[110]//LaAlO3[100],其晶格失配度為1.3%,平均粗糙度約為3.4nm.
채용맥충격광침적(PLD)방법,재LaAlO3(001)기편상연구료침적온도대용작고온초도대재완충층YBiO3결정적영향.결과표명,수착침적온도적승고,YBiO3완충층결정질량제고,취향추우완미,표면교위평정.당침적온도위700℃시,단정외연적YBiO3여LaAlO3기편적외연관계위:YBiO3(001)// LaAlO3(001)화YBiO3[110]//LaAlO3[100],기정격실배도위1.3%,평균조조도약위3.4nm.
