仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2010年
6期
1358-1363
,共6页
佟庆彬%张晓冬%丁振良%袁峰
佟慶彬%張曉鼕%丁振良%袁峰
동경빈%장효동%정진량%원봉
激光视觉%石英摆片%厚度测量%斯涅尔定律%亚像素边缘定位%Zernike矩
激光視覺%石英襬片%厚度測量%斯涅爾定律%亞像素邊緣定位%Zernike矩
격광시각%석영파편%후도측량%사열이정률%아상소변연정위%Zernike구
石英摆片厚度的检测能够提供产品生产过程中的重要信息,通过实时检测石英摆片的厚度,可以生产出高质量的产品,并能够识别和排除有缺陷的产品.为了提高石英摆片厚度参数检测的精度和效率,提出了一种利用激光视觉技术进行石英摆片厚度测量的非接触测量方法.该方法根据斯涅尔的基本光学定律,通过视觉测量系统获取激光光斑的图像;利用改进的Zernike矩边缘定位算法及优化的激光光斑中心定位算法计算石英摆片的厚度.设计了半导体激光器恒功率驱动控制系统和激光光束准直系统,分析了激光入射角角度的选取原则.实验结果表明:该方法稳定性好,测量精度高,可以实现石英摆片厚度的非接触精密测量.
石英襬片厚度的檢測能夠提供產品生產過程中的重要信息,通過實時檢測石英襬片的厚度,可以生產齣高質量的產品,併能夠識彆和排除有缺陷的產品.為瞭提高石英襬片厚度參數檢測的精度和效率,提齣瞭一種利用激光視覺技術進行石英襬片厚度測量的非接觸測量方法.該方法根據斯涅爾的基本光學定律,通過視覺測量繫統穫取激光光斑的圖像;利用改進的Zernike矩邊緣定位算法及優化的激光光斑中心定位算法計算石英襬片的厚度.設計瞭半導體激光器恆功率驅動控製繫統和激光光束準直繫統,分析瞭激光入射角角度的選取原則.實驗結果錶明:該方法穩定性好,測量精度高,可以實現石英襬片厚度的非接觸精密測量.
석영파편후도적검측능구제공산품생산과정중적중요신식,통과실시검측석영파편적후도,가이생산출고질량적산품,병능구식별화배제유결함적산품.위료제고석영파편후도삼수검측적정도화효솔,제출료일충이용격광시각기술진행석영파편후도측량적비접촉측량방법.해방법근거사열이적기본광학정률,통과시각측량계통획취격광광반적도상;이용개진적Zernike구변연정위산법급우화적격광광반중심정위산법계산석영파편적후도.설계료반도체격광기항공솔구동공제계통화격광광속준직계통,분석료격광입사각각도적선취원칙.실험결과표명:해방법은정성호,측량정도고,가이실현석영파편후도적비접촉정밀측량.
