机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2010年
21期
187-193
,共7页
空气静压导轨%动态误差%气膜波动%功率谱密度%小波变换
空氣靜壓導軌%動態誤差%氣膜波動%功率譜密度%小波變換
공기정압도궤%동태오차%기막파동%공솔보밀도%소파변환
空气静压导轨的气膜波动已成为超精密加工工件波纹度的主要影响因素.为分析空气静压导轨性能,利用雷诺方程推导出双排节流孔结构形式的空气静压导轨气膜刚度计算公式,并对相应空气静压导轨进行静态刚度检测试验以验证建立的导轨气膜刚度模型的正确性与可行性.结合静压导轨的模态分析结果,建立空气静压导轨的动力学模型.根据气浮导轨系统的动力学方程,给出气浮溜板刚度及其在加工过程中随气膜厚度变化的波动频率的仿真步骤和结果,根据引起的振动幅值分析气膜波动对加工结果的影响.利用小波变换把加工工件面形检测结果分解为各尺度下低频信号和高频信号,并把各尺度下高频信号做功率谱密度分析,从导轨气膜波动频率出发辨识出导轨气膜波动信号所在的尺度,根据相应的功率谱密度幅值推导出对加工结果的影响程度.
空氣靜壓導軌的氣膜波動已成為超精密加工工件波紋度的主要影響因素.為分析空氣靜壓導軌性能,利用雷諾方程推導齣雙排節流孔結構形式的空氣靜壓導軌氣膜剛度計算公式,併對相應空氣靜壓導軌進行靜態剛度檢測試驗以驗證建立的導軌氣膜剛度模型的正確性與可行性.結閤靜壓導軌的模態分析結果,建立空氣靜壓導軌的動力學模型.根據氣浮導軌繫統的動力學方程,給齣氣浮霤闆剛度及其在加工過程中隨氣膜厚度變化的波動頻率的倣真步驟和結果,根據引起的振動幅值分析氣膜波動對加工結果的影響.利用小波變換把加工工件麵形檢測結果分解為各呎度下低頻信號和高頻信號,併把各呎度下高頻信號做功率譜密度分析,從導軌氣膜波動頻率齣髮辨識齣導軌氣膜波動信號所在的呎度,根據相應的功率譜密度幅值推導齣對加工結果的影響程度.
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