太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2012年
2期
273-276
,共4页
徐艳华%陈永生%卢景霄%王志永%王蕾%高海波%张旭营
徐豔華%陳永生%盧景霄%王誌永%王蕾%高海波%張旭營
서염화%진영생%로경소%왕지영%왕뢰%고해파%장욱영
微晶硅薄膜%光电导衰退%模拟光照%光稳定性
微晶硅薄膜%光電導衰退%模擬光照%光穩定性
미정규박막%광전도쇠퇴%모의광조%광은정성
利用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,通过改变功率密度和沉积压强制备了三系列微晶硅薄膜.采用拉曼光谱、XRD与电导率分析技术,研究在光照条件下微晶硅薄膜的光学特性,光电导衰退与晶化率、沉积速率、晶粒尺寸间的关系.研究发现:随着晶化率的增加,微晶硅薄膜的光电导衰退率逐渐减小；随着沉积气压的增加,相同晶化率的薄膜的光稳定性降低.在光照50h后,薄膜的光电导衰退基本达到饱和.
利用甚高頻等離子體增彊化學氣相沉積技術,通過改變功率密度和沉積壓彊製備瞭三繫列微晶硅薄膜.採用拉曼光譜、XRD與電導率分析技術,研究在光照條件下微晶硅薄膜的光學特性,光電導衰退與晶化率、沉積速率、晶粒呎吋間的關繫.研究髮現:隨著晶化率的增加,微晶硅薄膜的光電導衰退率逐漸減小；隨著沉積氣壓的增加,相同晶化率的薄膜的光穩定性降低.在光照50h後,薄膜的光電導衰退基本達到飽和.
이용심고빈등리자체증강화학기상침적기술,통과개변공솔밀도화침적압강제비료삼계렬미정규박막.채용랍만광보、XRD여전도솔분석기술,연구재광조조건하미정규박막적광학특성,광전도쇠퇴여정화솔、침적속솔、정립척촌간적관계.연구발현:수착정화솔적증가,미정규박막적광전도쇠퇴솔축점감소；수착침적기압적증가,상동정화솔적박막적광은정성강저.재광조50h후,박막적광전도쇠퇴기본체도포화.
