传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
3期
338-343
,共6页
微机械电子系统%谐振器%非线性%锁相技术%平均周期法
微機械電子繫統%諧振器%非線性%鎖相技術%平均週期法
미궤계전자계통%해진기%비선성%쇄상기술%평균주기법
本文分析了微机械谐振器的非线性动力学原理,根据振梁的非线性谐振条件下激励与检测信号相位关系,确定了基于锁相技术驱动的系统分析模型.利用平均周期法得到了系统稳定条件和稳态平衡点,理论分析和仿真表明:振梁刚度的高次项系数的增大,不影响系统的稳定性；当积分控制器系数小于临界值时,频率跟踪时间长,不出现频率抖动；反之,频率跟踪稳定时间短,频率抖动.
本文分析瞭微機械諧振器的非線性動力學原理,根據振樑的非線性諧振條件下激勵與檢測信號相位關繫,確定瞭基于鎖相技術驅動的繫統分析模型.利用平均週期法得到瞭繫統穩定條件和穩態平衡點,理論分析和倣真錶明:振樑剛度的高次項繫數的增大,不影響繫統的穩定性；噹積分控製器繫數小于臨界值時,頻率跟蹤時間長,不齣現頻率抖動；反之,頻率跟蹤穩定時間短,頻率抖動.
본문분석료미궤계해진기적비선성동역학원리,근거진량적비선성해진조건하격려여검측신호상위관계,학정료기우쇄상기술구동적계통분석모형.이용평균주기법득도료계통은정조건화은태평형점,이론분석화방진표명:진량강도적고차항계수적증대,불영향계통적은정성；당적분공제기계수소우림계치시,빈솔근종시간장,불출현빈솔두동；반지,빈솔근종은정시간단,빈솔두동.
