铝过渡层沉积CVD金刚石涂层的研究
려과도층침적CVD금강석도층적연구
Study of CVD diamond coating on Cemented Carbide of PVD-sputtered Al interlayer
  • 万方数据
    机械制造与自动化 궤계제조여자동화
    JIANGSU MACHINE BUILDING & AUTOMATION
    2012年 3期 27-29,42 ,共4页

    郑琳%左敦稳%徐锋%卢文壮%张旭辉%黄美健%朱良杰

    정림%좌돈은%서봉%로문장%장욱휘%황미건%주량걸

    直流磁控溅射技术%铝中间层%金刚石薄膜%高钴硬质合金 直流磁控濺射技術%鋁中間層%金剛石薄膜%高鈷硬質閤金
    직류자공천사기술%려중간층%금강석박막%고고경질합금
    使用Murakami溶液和王水预处理高钴硬质合金刀片,并用直流磁控溅射(DCS)技术在此硬质合金上溅射铝过渡层,在热丝化学气相沉积(HFCVD)设备里沉积金刚石薄膜；分析了金刚石形核机理,并利用SEM以及Raman等方法表征试样.结果表明:与未溅射过渡层的样品相比,在过渡层上的金刚石形核密度更高,金刚石颗粒尺寸更加细小.
    사용Murakami용액화왕수예처리고고경질합금도편,병용직류자공천사(DCS)기술재차경질합금상천사려과도층,재열사화학기상침적(HFCVD)설비리침적금강석박막；분석료금강석형핵궤리,병이용SEM이급Raman등방법표정시양.결과표명:여미천사과도층적양품상비,재과도층상적금강석형핵밀도경고,금강석과립척촌경가세소.
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