真空
真空
진공
VACUUM
2012年
3期
31-34
,共4页
汤启升%金建%李鑫%郑正龙%王旭迪
湯啟升%金建%李鑫%鄭正龍%王旭迪
탕계승%금건%리흠%정정룡%왕욱적
卷对卷纳米压印%脱模%有限元分析%变形%等效应力
捲對捲納米壓印%脫模%有限元分析%變形%等效應力
권대권납미압인%탈모%유한원분석%변형%등효응력
本文提出卷对卷纳米压印脱模的两种形式并分析了脱模过程中的阻力.选取垂直于光栅形微结构的截面作为研究对象,忽略脱模过程中旋转角度的影响,将模板上微结构当作竖直平移脱离胶层的方式来处理,利用ANSYS有限元软件模拟了卷对卷脱模过程中不同位置的变形和等效应力分布.结果显示脱模过程中出现两处应力集中,且应力集中处的最大应力在脱模刚发生时出现波动,随后逐渐增大.
本文提齣捲對捲納米壓印脫模的兩種形式併分析瞭脫模過程中的阻力.選取垂直于光柵形微結構的截麵作為研究對象,忽略脫模過程中鏇轉角度的影響,將模闆上微結構噹作豎直平移脫離膠層的方式來處理,利用ANSYS有限元軟件模擬瞭捲對捲脫模過程中不同位置的變形和等效應力分佈.結果顯示脫模過程中齣現兩處應力集中,且應力集中處的最大應力在脫模剛髮生時齣現波動,隨後逐漸增大.
본문제출권대권납미압인탈모적량충형식병분석료탈모과정중적조력.선취수직우광책형미결구적절면작위연구대상,홀략탈모과정중선전각도적영향,장모판상미결구당작수직평이탈리효층적방식래처리,이용ANSYS유한원연건모의료권대권탈모과정중불동위치적변형화등효응력분포.결과현시탈모과정중출현량처응력집중,차응력집중처적최대응력재탈모강발생시출현파동,수후축점증대.
