强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
8期
1919-1924
,共6页
薄膜%光学参数表征%偏导数筛选%系统误差%光度法
薄膜%光學參數錶徵%偏導數篩選%繫統誤差%光度法
박막%광학삼수표정%편도수사선%계통오차%광도법
针对光度测量数据中难以消除的系统误差对薄膜光学参数表征精度的负面影响,提出一种新型的误差处理技术.选取薄膜光谱系数对折射率和几何厚度的一阶偏导数,对大部分测量入射角满足符号相反或只有其中一个为零的条件的波段,剔除偏导数对全部测量入射角满足符号相同或同时为零条件的奇点波长附近波段,作为反演表征用的光度测量数据采集区域,以最小化光度测量系统误差引起的薄膜光学参数反演表征值相对真实值的偏差大小.通过数值模拟实验,对比研究了该技术对不同偏振光和不同测量入射角范围的适用性及实施技巧,以可复现的数值实验数据和合理的理论解释支持和验证了这种误差处理技术的可靠性.
針對光度測量數據中難以消除的繫統誤差對薄膜光學參數錶徵精度的負麵影響,提齣一種新型的誤差處理技術.選取薄膜光譜繫數對摺射率和幾何厚度的一階偏導數,對大部分測量入射角滿足符號相反或隻有其中一箇為零的條件的波段,剔除偏導數對全部測量入射角滿足符號相同或同時為零條件的奇點波長附近波段,作為反縯錶徵用的光度測量數據採集區域,以最小化光度測量繫統誤差引起的薄膜光學參數反縯錶徵值相對真實值的偏差大小.通過數值模擬實驗,對比研究瞭該技術對不同偏振光和不同測量入射角範圍的適用性及實施技巧,以可複現的數值實驗數據和閤理的理論解釋支持和驗證瞭這種誤差處理技術的可靠性.
침대광도측량수거중난이소제적계통오차대박막광학삼수표정정도적부면영향,제출일충신형적오차처리기술.선취박막광보계수대절사솔화궤하후도적일계편도수,대대부분측량입사각만족부호상반혹지유기중일개위령적조건적파단,척제편도수대전부측량입사각만족부호상동혹동시위령조건적기점파장부근파단,작위반연표정용적광도측량수거채집구역,이최소화광도측량계통오차인기적박막광학삼수반연표정치상대진실치적편차대소.통과수치모의실험,대비연구료해기술대불동편진광화불동측량입사각범위적괄용성급실시기교,이가복현적수치실험수거화합리적이론해석지지화험증료저충오차처리기술적가고성.
