传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
10期
94-96
,共3页
李向红%张斌珍%孟祥娇%范新磊
李嚮紅%張斌珍%孟祥嬌%範新磊
리향홍%장빈진%맹상교%범신뢰
微流沟道%SU-8%光刻工艺%斜曝光%三维%高深宽比
微流溝道%SU-8%光刻工藝%斜曝光%三維%高深寬比
미류구도%SU-8%광각공예%사폭광%삼유%고심관비
以SU-8作为结构材料,采用紫外光刻工艺,尤以斜曝光工艺为主,制造一种新型的、小型化的、低成本的、三维的、高深宽比的微流沟道,微流沟道的高度约为1 100μm.初步确定出加工此微流沟道结构所需要的曝光计量、前烘时间、后烘时间和显影时间以及工艺方法,为加工其他尺寸的微流沟道提供参考.基于此方法加工的微流沟道可以应用在微型流式细胞仪上,来提供红细胞计数、血色素浓度、血小板计数和红细胞单元指数等参数.
以SU-8作為結構材料,採用紫外光刻工藝,尤以斜曝光工藝為主,製造一種新型的、小型化的、低成本的、三維的、高深寬比的微流溝道,微流溝道的高度約為1 100μm.初步確定齣加工此微流溝道結構所需要的曝光計量、前烘時間、後烘時間和顯影時間以及工藝方法,為加工其他呎吋的微流溝道提供參攷.基于此方法加工的微流溝道可以應用在微型流式細胞儀上,來提供紅細胞計數、血色素濃度、血小闆計數和紅細胞單元指數等參數.
이SU-8작위결구재료,채용자외광각공예,우이사폭광공예위주,제조일충신형적、소형화적、저성본적、삼유적、고심관비적미류구도,미류구도적고도약위1 100μm.초보학정출가공차미류구도결구소수요적폭광계량、전홍시간、후홍시간화현영시간이급공예방법,위가공기타척촌적미류구도제공삼고.기우차방법가공적미류구도가이응용재미형류식세포의상,래제공홍세포계수、혈색소농도、혈소판계수화홍세포단원지수등삼수.
