福州大学学报（自然科学版）
福州大學學報（自然科學版）
복주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
z1期
4-7
,共4页
压电驱动器%迟滞特性%蠕变特性%纳米定位
壓電驅動器%遲滯特性%蠕變特性%納米定位
압전구동기%지체특성%연변특성%납미정위
压电陶瓷通常用于原子力显微镜(AFM)中的扫描器中,但是在无补偿开环控制中压电陶瓷在输入电压与输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕变非线性特性,使得扫描所得图像失真.为此,针对原子力显微镜X轴的需求,采用了分步补偿的办法,先补偿蠕变特性而且可以简化迟滞补偿的算法,很大程度上减轻了图像的失真,使整个控制算法简单,无需复杂的运算,降低了对控制系统处理器的要求,降低设备成本.
壓電陶瓷通常用于原子力顯微鏡(AFM)中的掃描器中,但是在無補償開環控製中壓電陶瓷在輸入電壓與輸齣位移之間錶現齣明顯的遲滯和蠕變非線性特性,使得掃描所得圖像失真.為此,針對原子力顯微鏡X軸的需求,採用瞭分步補償的辦法,先補償蠕變特性而且可以簡化遲滯補償的算法,很大程度上減輕瞭圖像的失真,使整箇控製算法簡單,無需複雜的運算,降低瞭對控製繫統處理器的要求,降低設備成本.
압전도자통상용우원자력현미경(AFM)중적소묘기중,단시재무보상개배공제중압전도자재수입전압여수출위이지간표현출명현적지체화연변비선성특성,사득소묘소득도상실진.위차,침대원자력현미경X축적수구,채용료분보보상적판법,선보상연변특성이차가이간화지체보상적산법,흔대정도상감경료도상적실진,사정개공제산법간단,무수복잡적운산,강저료대공제계통처리기적요구,강저설비성본.
