红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2009年
4期
232-235
,共4页
龚晓霞%苏玉辉%雷胜琼%万锐敏%杨文运
龔曉霞%囌玉輝%雷勝瓊%萬銳敏%楊文運
공효하%소옥휘%뢰성경%만예민%양문운
锑化铟%LSS理论%优化掺杂%离子注入%理论计算
銻化銦%LSS理論%優化摻雜%離子註入%理論計算
제화인%LSS이론%우화참잡%리자주입%이론계산
通过理论分析计算获得了光伏型InSb红外探测器的的优化掺杂浓度及结深.利用LSS理论估算了Be+注入InSb的射程及标准偏差,同时设计了与优化掺杂浓度及结深相对应的注入条件.实验所得典型的R0A为值4.7×103～3×103 Ω·cm2,量子效率为0.65～0.7之间.实验R0A值及量子效率与理论结果基本吻合.此工作对离子注入工艺有一定的参考价值.
通過理論分析計算穫得瞭光伏型InSb紅外探測器的的優化摻雜濃度及結深.利用LSS理論估算瞭Be+註入InSb的射程及標準偏差,同時設計瞭與優化摻雜濃度及結深相對應的註入條件.實驗所得典型的R0A為值4.7×103～3×103 Ω·cm2,量子效率為0.65～0.7之間.實驗R0A值及量子效率與理論結果基本吻閤.此工作對離子註入工藝有一定的參攷價值.
통과이론분석계산획득료광복형InSb홍외탐측기적적우화참잡농도급결심.이용LSS이론고산료Be+주입InSb적사정급표준편차,동시설계료여우화참잡농도급결심상대응적주입조건.실험소득전형적R0A위치4.7×103～3×103 Ω·cm2,양자효솔위0.65～0.7지간.실험R0A치급양자효솔여이론결과기본문합.차공작대리자주입공예유일정적삼고개치.
