物理化学学报
物理化學學報
물이화학학보
ACTA PHYSICO-CHIMICA SINICA
2011年
6期
1531-1536
,共6页
闻震利%曹晓宁%周春兰%赵雷%李海玲%王文静
聞震利%曹曉寧%週春蘭%趙雷%李海玲%王文靜
문진리%조효저%주춘란%조뢰%리해령%왕문정
SiNx:H薄膜%沉积温度%结构特性%钝化%太阳电池%效率
SiNx:H薄膜%沉積溫度%結構特性%鈍化%太暘電池%效率
SiNx:H박막%침적온도%결구특성%둔화%태양전지%효솔
利用Centrotherm公司生产的管式等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备在p型抛光硅片表面沉积SiNx:H薄膜,研究沉积温度对SiNx:H薄膜的组成及光学特性、结构及表面钝化特性的影响.然后采用工业化的单晶硅太阳电池制作设备和工艺制作太阳电池,研究不同温度制备的薄膜对电池电性能的影响.测试结果表明:SiNx:H薄膜的折射率随着沉积温度的升高而变大,分布在1.926-2.231之间,这表明Si/N摩尔比随着沉积温度的增加而增加;当沉积温度增加时,薄膜中Si-H键和N-H键浓度呈现减小趋势,而Si-N键浓度逐渐升高,薄膜致密度增加;随着沉积温度的升高,SiNx:H薄膜中的氢析出导致了钝化硅片的有效少子寿命先升高后降低,并且有效少子寿命出现明显的时间衰减特性.当沉积温度为450℃时,薄膜具有最优的减反射和表面钝化效果.采用不同温度PECVD制备的5组电池的电性能测试结果也验证了这一结果.
利用Centrotherm公司生產的管式等離子增彊化學氣相沉積(PECVD)設備在p型拋光硅片錶麵沉積SiNx:H薄膜,研究沉積溫度對SiNx:H薄膜的組成及光學特性、結構及錶麵鈍化特性的影響.然後採用工業化的單晶硅太暘電池製作設備和工藝製作太暘電池,研究不同溫度製備的薄膜對電池電性能的影響.測試結果錶明:SiNx:H薄膜的摺射率隨著沉積溫度的升高而變大,分佈在1.926-2.231之間,這錶明Si/N摩爾比隨著沉積溫度的增加而增加;噹沉積溫度增加時,薄膜中Si-H鍵和N-H鍵濃度呈現減小趨勢,而Si-N鍵濃度逐漸升高,薄膜緻密度增加;隨著沉積溫度的升高,SiNx:H薄膜中的氫析齣導緻瞭鈍化硅片的有效少子壽命先升高後降低,併且有效少子壽命齣現明顯的時間衰減特性.噹沉積溫度為450℃時,薄膜具有最優的減反射和錶麵鈍化效果.採用不同溫度PECVD製備的5組電池的電性能測試結果也驗證瞭這一結果.
이용Centrotherm공사생산적관식등리자증강화학기상침적(PECVD)설비재p형포광규편표면침적SiNx:H박막,연구침적온도대SiNx:H박막적조성급광학특성、결구급표면둔화특성적영향.연후채용공업화적단정규태양전지제작설비화공예제작태양전지,연구불동온도제비적박막대전지전성능적영향.측시결과표명:SiNx:H박막적절사솔수착침적온도적승고이변대,분포재1.926-2.231지간,저표명Si/N마이비수착침적온도적증가이증가;당침적온도증가시,박막중Si-H건화N-H건농도정현감소추세,이Si-N건농도축점승고,박막치밀도증가;수착침적온도적승고,SiNx:H박막중적경석출도치료둔화규편적유효소자수명선승고후강저,병차유효소자수명출현명현적시간쇠감특성.당침적온도위450℃시,박막구유최우적감반사화표면둔화효과.채용불동온도PECVD제비적5조전지적전성능측시결과야험증료저일결과.
