西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2012年
6期
431-436
,共6页
田爱玲%郑显锋%刘丙才%王红军%王春慧%郑颖
田愛玲%鄭顯鋒%劉丙纔%王紅軍%王春慧%鄭穎
전애령%정현봉%류병재%왕홍군%왕춘혜%정영
干涉测量%绝对检验%三平面互检%方位角平均算法
榦涉測量%絕對檢驗%三平麵互檢%方位角平均算法
간섭측량%절대검험%삼평면호검%방위각평균산법
传统的三平面互检法与ZYGO干涉仪自带的three-flats程序都不能实现三个平面的三维面型测量.以ZYGO干涉仪的GPI程序为基础,通过对仪器的局部改装,实现对三个平面的三维面型测量的一种改进的三平面互检法.将改进的三平面互检法的结果取其纵向面型信息与ZYGO干涉仪中three-flats程序直接测得的三个平面纵向面型的测量结果进行比较,结果PV值误差在0.001λ以内.验证了此法的准确性和可行性,为干涉法测量高精度面型技术的发展提供有力的支持.
傳統的三平麵互檢法與ZYGO榦涉儀自帶的three-flats程序都不能實現三箇平麵的三維麵型測量.以ZYGO榦涉儀的GPI程序為基礎,通過對儀器的跼部改裝,實現對三箇平麵的三維麵型測量的一種改進的三平麵互檢法.將改進的三平麵互檢法的結果取其縱嚮麵型信息與ZYGO榦涉儀中three-flats程序直接測得的三箇平麵縱嚮麵型的測量結果進行比較,結果PV值誤差在0.001λ以內.驗證瞭此法的準確性和可行性,為榦涉法測量高精度麵型技術的髮展提供有力的支持.
전통적삼평면호검법여ZYGO간섭의자대적three-flats정서도불능실현삼개평면적삼유면형측량.이ZYGO간섭의적GPI정서위기출,통과대의기적국부개장,실현대삼개평면적삼유면형측량적일충개진적삼평면호검법.장개진적삼평면호검법적결과취기종향면형신식여ZYGO간섭의중three-flats정서직접측득적삼개평면종향면형적측량결과진행비교,결과PV치오차재0.001λ이내.험증료차법적준학성화가행성,위간섭법측량고정도면형기술적발전제공유력적지지.
