微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2004年
1期
38-40,46
,共4页
李雄%徐智谋%易新建%何少伟%刘胜%连昆
李雄%徐智謀%易新建%何少偉%劉勝%連昆
리웅%서지모%역신건%하소위%류성%련곤
穿透深度%SU-8胶%MEMS%UV-LIGA
穿透深度%SU-8膠%MEMS%UV-LIGA
천투심도%SU-8효%MEMS%UV-LIGA
通过对SU-8胶近紫外波段下透射光谱的分析,得到不同波长近紫外光在SU-8胶中的穿透深度,并分析了不同波段近紫外光对SU-8胶微结构的影响,结果表明穿透深度大的近紫外波段曝光出来的图形质量好,深宽比大,侧壁陡直.
通過對SU-8膠近紫外波段下透射光譜的分析,得到不同波長近紫外光在SU-8膠中的穿透深度,併分析瞭不同波段近紫外光對SU-8膠微結構的影響,結果錶明穿透深度大的近紫外波段曝光齣來的圖形質量好,深寬比大,側壁陡直.
통과대SU-8효근자외파단하투사광보적분석,득도불동파장근자외광재SU-8효중적천투심도,병분석료불동파단근자외광대SU-8효미결구적영향,결과표명천투심도대적근자외파단폭광출래적도형질량호,심관비대,측벽두직.
