光电子技术
光電子技術
광전자기술
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2005年
3期
146-149
,共4页
戴丽英%刘德林%李慧蕊%钟伟俊%张心建%扬卉
戴麗英%劉德林%李慧蕊%鐘偉俊%張心建%颺卉
대려영%류덕림%리혜예%종위준%장심건%양훼
电荷耦合器件%背照%成像%衬底减薄
電荷耦閤器件%揹照%成像%襯底減薄
전하우합기건%배조%성상%츤저감박
简要介绍了背照电荷耦合器件的工作原理、潜在优势和应用领域.设计了对常规电荷耦合器件芯片进行衬底减薄进而实现背照电荷耦合器件的技术方案.给出了相关的设计方法和工艺流程并对关键工艺技术进行了探讨.对所制成的背照电荷耦合器件组件的性能进行了分析和讨论.结果表明所提出并采用的技术方案是可行的.
簡要介紹瞭揹照電荷耦閤器件的工作原理、潛在優勢和應用領域.設計瞭對常規電荷耦閤器件芯片進行襯底減薄進而實現揹照電荷耦閤器件的技術方案.給齣瞭相關的設計方法和工藝流程併對關鍵工藝技術進行瞭探討.對所製成的揹照電荷耦閤器件組件的性能進行瞭分析和討論.結果錶明所提齣併採用的技術方案是可行的.
간요개소료배조전하우합기건적공작원리、잠재우세화응용영역.설계료대상규전하우합기건심편진행츤저감박진이실현배조전하우합기건적기술방안.급출료상관적설계방법화공예류정병대관건공예기술진행료탐토.대소제성적배조전하우합기건조건적성능진행료분석화토론.결과표명소제출병채용적기술방안시가행적.
