表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2010年
4期
77-82
,共6页
原子层沉积%前驱体%材料
原子層沉積%前驅體%材料
원자층침적%전구체%재료
介绍了原子层沉积技术的基本原理及其特点,从无机类材料和有机金属类材料两个方面综述了前驱体材料的研究进展状况,介绍了单一元素、卤化物等无机类前驱体材料的特点,以及炕基、环戊二烯基、醇盐、β二酮、烷基胺、硅胺基和酰胺等有机金属类前驱体材料的特点.结合原子层沉积过程的工艺特点和膜层要求,强调了在选择前驱体材料时,需要综合考虑材料的蒸汽压、反应性、化学稳定性、反应产物的活性、材料的安全性及来源等方面的因素.
介紹瞭原子層沉積技術的基本原理及其特點,從無機類材料和有機金屬類材料兩箇方麵綜述瞭前驅體材料的研究進展狀況,介紹瞭單一元素、滷化物等無機類前驅體材料的特點,以及炕基、環戊二烯基、醇鹽、β二酮、烷基胺、硅胺基和酰胺等有機金屬類前驅體材料的特點.結閤原子層沉積過程的工藝特點和膜層要求,彊調瞭在選擇前驅體材料時,需要綜閤攷慮材料的蒸汽壓、反應性、化學穩定性、反應產物的活性、材料的安全性及來源等方麵的因素.
개소료원자층침적기술적기본원리급기특점,종무궤류재료화유궤금속류재료량개방면종술료전구체재료적연구진전상황,개소료단일원소、서화물등무궤류전구체재료적특점,이급항기、배무이희기、순염、β이동、완기알、규알기화선알등유궤금속류전구체재료적특점.결합원자층침적과정적공예특점화막층요구,강조료재선택전구체재료시,수요종합고필재료적증기압、반응성、화학은정성、반응산물적활성、재료적안전성급래원등방면적인소.
