四川大学学报（自然科学版）
四川大學學報（自然科學版）
사천대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2011年
2期
356-360
,共5页
刘成士%伍登学%赵利利%廖志君
劉成士%伍登學%趙利利%廖誌君
류성사%오등학%조리리%료지군
TiO2薄膜%高频CV曲线%电子束蒸发
TiO2薄膜%高頻CV麯線%電子束蒸髮
TiO2박막%고빈CV곡선%전자속증발
利用电子束蒸发在不同的衬底温度和蒸发束流下制备了TiO2薄膜,利用椭圆偏振仪测出了不同工艺条件下薄膜的厚度和折射率;利用高频CV曲线研究了制备工艺条件对TiO2薄膜的电容特性的影响,发现衬底温度和蒸发束流严重影响TiO2薄膜的CV曲线特性;最后利用XPS(X射线能谱)和FI-IR(傅立叶红外吸收)相结合的方法对TiO2薄膜的成分进行了分析,发现在与硅交界处存在一个亚稳态的过渡层,其成分是低价态的TiOx(x＜2)和SiOy(y＜2).
利用電子束蒸髮在不同的襯底溫度和蒸髮束流下製備瞭TiO2薄膜,利用橢圓偏振儀測齣瞭不同工藝條件下薄膜的厚度和摺射率;利用高頻CV麯線研究瞭製備工藝條件對TiO2薄膜的電容特性的影響,髮現襯底溫度和蒸髮束流嚴重影響TiO2薄膜的CV麯線特性;最後利用XPS(X射線能譜)和FI-IR(傅立葉紅外吸收)相結閤的方法對TiO2薄膜的成分進行瞭分析,髮現在與硅交界處存在一箇亞穩態的過渡層,其成分是低價態的TiOx(x＜2)和SiOy(y＜2).
이용전자속증발재불동적츤저온도화증발속류하제비료TiO2박막,이용타원편진의측출료불동공예조건하박막적후도화절사솔;이용고빈CV곡선연구료제비공예조건대TiO2박막적전용특성적영향,발현츤저온도화증발속류엄중영향TiO2박막적CV곡선특성;최후이용XPS(X사선능보)화FI-IR(부립협홍외흡수)상결합적방법대TiO2박막적성분진행료분석,발현재여규교계처존재일개아은태적과도층,기성분시저개태적TiOx(x＜2)화SiOy(y＜2).
