机械工程师
機械工程師
궤계공정사
MECHANICAL ENGINEER
2012年
2期
84-85
,共2页
TSV%喷胶工艺%有限元分析%热应力
TSV%噴膠工藝%有限元分析%熱應力
TSV%분효공예%유한원분석%열응력
针对TSV工艺中喷胶工艺因晶圆与光刻胶的膨胀系数不同而产生的应力分布不均的情况,对喷胶后光刻胶的应力分布进行了分析,并采用有限元分析软件ANSYS中的热应力分析单元对可实现同种工艺膜厚的三种不同配方喷涂的效果进行模拟分析.三组分析数据对比发现,通过对喷胶工艺的参数控制,采取最优的工艺参数,当光刻胶稀释比例为1∶12、光刻胶流量为2.2mL/min和喷嘴的移动速度为120mm/s时,取得的胶膜应力分布最为均匀.
針對TSV工藝中噴膠工藝因晶圓與光刻膠的膨脹繫數不同而產生的應力分佈不均的情況,對噴膠後光刻膠的應力分佈進行瞭分析,併採用有限元分析軟件ANSYS中的熱應力分析單元對可實現同種工藝膜厚的三種不同配方噴塗的效果進行模擬分析.三組分析數據對比髮現,通過對噴膠工藝的參數控製,採取最優的工藝參數,噹光刻膠稀釋比例為1∶12、光刻膠流量為2.2mL/min和噴嘴的移動速度為120mm/s時,取得的膠膜應力分佈最為均勻.
침대TSV공예중분효공예인정원여광각효적팽창계수불동이산생적응력분포불균적정황,대분효후광각효적응력분포진행료분석,병채용유한원분석연건ANSYS중적열응력분석단원대가실현동충공예막후적삼충불동배방분도적효과진행모의분석.삼조분석수거대비발현,통과대분효공예적삼수공제,채취최우적공예삼수,당광각효희석비례위1∶12、광각효류량위2.2mL/min화분취적이동속도위120mm/s시,취득적효막응력분포최위균균.
