MOSFET热载流子退化/寿命模型参数提取
MOSFET열재류자퇴화/수명모형삼수제취
Model Parameter Extraction for MOSFETs Hot Carrier Degradation/Age
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2000年 3期 268-273 ,共6页

    杨谟华%于奇%王向展%陈勇%刘玉奎%肖兵%杨沛锋%方朋%孔学东%谭超元%钟征宇

    양모화%우기%왕향전%진용%류옥규%초병%양패봉%방붕%공학동%담초원%종정우

    模型参数%热载流子%退化/寿命%MOSFET 模型參數%熱載流子%退化/壽命%MOSFET
    모형삼수%열재류자%퇴화/수명%MOSFET
    基于MOSFET热载流子可靠性物理，并结合电应力条件下热载流子退化特征量△Ids/Idso、Isub等实测数据的拟合处理，发展了可表征退化物理意义的衬底电流与退化/寿命参数提取模型；进而由自动测试ATE与CAD技术相结合的监测系统，实现了载流子速度饱和临界电场Ecrit、有效导电长度Lc和寿命因子H、m、n提取.实验研究结果表明，模型及提取参数合理可信，并可进一步应用于MOSFET及其电路的退化/寿命模拟预测.
    기우MOSFET열재류자가고성물리，병결합전응력조건하열재류자퇴화특정량△Ids/Idso、Isub등실측수거적의합처리，발전료가표정퇴화물리의의적츤저전류여퇴화/수명삼수제취모형；진이유자동측시ATE여CAD기술상결합적감측계통，실현료재류자속도포화림계전장Ecrit、유효도전장도Lc화수명인자H、m、n제취.실험연구결과표명，모형급제취삼수합리가신，병가진일보응용우MOSFET급기전로적퇴화/수명모의예측.
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