南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2006年
4期
348-352
,共5页
方利广%赵勇%俞进%盛广沪%郑军
方利廣%趙勇%俞進%盛廣滬%鄭軍
방리엄%조용%유진%성엄호%정군
纳米薄膜%氨%凝核
納米薄膜%氨%凝覈
납미박막%안%응핵
采用弧过滤离子沉积系统(arc filtered deposition,AFD)在纯硅表面制备铁纳米薄膜.研究了750℃下铁纳米薄膜在氢气氛围以及氨气氛围中重凝核的规律.研究表明,在氢气氛围中,铁纳米薄膜重凝核以后形成的铁纳米颗粒随薄膜的厚度增加以及保温时间的延长而增大;但在氨气氛围中,铁纳米薄膜重凝核后形成的纳米颗粒的尺寸随保温时间的变化更为复杂:在氨气作用的初始阶段,铁颗粒的尺寸随氨气作用时间的延长而逐渐变大,但一段时间以后,铁颗粒的尺寸又随氨气作用时间的延长而变小,直到铁颗粒平均直径达到一个最小值(大约在氨气介入后的12 min),随后铁颗粒的尺寸又逐渐变大,并最终达到一稳定值.
採用弧過濾離子沉積繫統(arc filtered deposition,AFD)在純硅錶麵製備鐵納米薄膜.研究瞭750℃下鐵納米薄膜在氫氣氛圍以及氨氣氛圍中重凝覈的規律.研究錶明,在氫氣氛圍中,鐵納米薄膜重凝覈以後形成的鐵納米顆粒隨薄膜的厚度增加以及保溫時間的延長而增大;但在氨氣氛圍中,鐵納米薄膜重凝覈後形成的納米顆粒的呎吋隨保溫時間的變化更為複雜:在氨氣作用的初始階段,鐵顆粒的呎吋隨氨氣作用時間的延長而逐漸變大,但一段時間以後,鐵顆粒的呎吋又隨氨氣作用時間的延長而變小,直到鐵顆粒平均直徑達到一箇最小值(大約在氨氣介入後的12 min),隨後鐵顆粒的呎吋又逐漸變大,併最終達到一穩定值.
채용호과려리자침적계통(arc filtered deposition,AFD)재순규표면제비철납미박막.연구료750℃하철납미박막재경기분위이급안기분위중중응핵적규률.연구표명,재경기분위중,철납미박막중응핵이후형성적철납미과립수박막적후도증가이급보온시간적연장이증대;단재안기분위중,철납미박막중응핵후형성적납미과립적척촌수보온시간적변화경위복잡:재안기작용적초시계단,철과립적척촌수안기작용시간적연장이축점변대,단일단시간이후,철과립적척촌우수안기작용시간적연장이변소,직도철과립평균직경체도일개최소치(대약재안기개입후적12 min),수후철과립적척촌우축점변대,병최종체도일은정치.
