CAJ | 학술논문

为研究不同晶粒尺寸纳米钛膜的储氦行为,在He-Ar混合气体下,用磁控溅射方法沉积纳米晶钛膜,利用PBS(proton backscattering)、XRD(X-ray diffraction)对膜的氦含量和微观结构及晶粒大小进行了研究.结果表明:在其它实验参数不变的情况下,当沉积温度从60℃升至350℃时得到均匀分布的含氦量(指原子百分比)从38.6%逐渐降至9.2%的钛膜,其平均晶粒由13.1 nm增加到44.2 nm;当He/Ar分压比分别为6、10、15、19时得到均匀分布的含氦量分别为17.6%、47.2%、48.3%和38.6%的钛膜.He的引入引起(002)晶面衍射峰向小角度移动,但(100)晶面衍射峰不变,即晶胞参数c增加,a不变化;随膜中He含量的增加,衍射峰展宽,晶粒变小,显示出氦的掺入有抑制纳米晶粒长大的趋势.
위연구불동정립척촌납미태막적저양행위,재He-Ar혼합기체하,용자공천사방법침적납미정태막,이용PBS(proton backscattering)、XRD(X-ray diffraction)대막적양함량화미관결구급정립대소진행료연구.결과표명:재기타실험삼수불변적정황하,당침적온도종60℃승지350℃시득도균균분포적함양량(지원자백분비)종38.6%축점강지9.2%적태막,기평균정립유13.1 nm증가도44.2 nm;당He/Ar분압비분별위6、10、15、19시득도균균분포적함양량분별위17.6%、47.2%、48.3%화38.6%적태막.He적인입인기(002)정면연사봉향소각도이동,단(100)정면연사봉불변,즉정포삼수c증가,a불변화;수막중He함량적증가,연사봉전관,정립변소,현시출양적참입유억제납미정립장대적추세.