计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2008年
4期
305-308
,共4页
汤昌社%周建友%潘嘉声%胡润洪
湯昌社%週建友%潘嘉聲%鬍潤洪
탕창사%주건우%반가성%호윤홍
计量学%平晶%平面度%等倾干涉%标准干涉环%机器视觉
計量學%平晶%平麵度%等傾榦涉%標準榦涉環%機器視覺
계량학%평정%평면도%등경간섭%표준간섭배%궤기시각
从等倾干涉原理出发推导了标准干涉环直径D0的数学表达式和测量方法,并讨论D0在平晶平面度测量中的重要作用.结合实际的等倾干涉仪CCD成像系统,从理论上研究运用机器视觉技术测量D0变化进而探测空气层厚度细微变化(0.02 μm)的可行性,并由此提出机器视觉运用于干涉计量领域应解决的通用性问题.
從等傾榦涉原理齣髮推導瞭標準榦涉環直徑D0的數學錶達式和測量方法,併討論D0在平晶平麵度測量中的重要作用.結閤實際的等傾榦涉儀CCD成像繫統,從理論上研究運用機器視覺技術測量D0變化進而探測空氣層厚度細微變化(0.02 μm)的可行性,併由此提齣機器視覺運用于榦涉計量領域應解決的通用性問題.
종등경간섭원리출발추도료표준간섭배직경D0적수학표체식화측량방법,병토론D0재평정평면도측량중적중요작용.결합실제적등경간섭의CCD성상계통,종이론상연구운용궤기시각기술측량D0변화진이탐측공기층후도세미변화(0.02 μm)적가행성,병유차제출궤기시각운용우간섭계량영역응해결적통용성문제.
