硬质合金
硬質閤金
경질합금
CEMENTED CARBIDE
2008年
3期
192-197
,共6页
吴振辉%马志斌%谭必松%张磊%吴利峰
吳振輝%馬誌斌%譚必鬆%張磊%吳利峰
오진휘%마지빈%담필송%장뢰%오리봉
CVD%金刚石膜%抛光
CVD%金剛石膜%拋光
CVD%금강석막%포광
化学气相沉积的金刚石膜表面一般比较粗糙,需要经过抛光才能实现其具体的工业应用.本文介绍了各种抛光CVD金刚石膜的方法及近来研究进展,分析了各种技术的优缺点,并结合工业应用对CVD金刚石膜的抛光前景作了展望.
化學氣相沉積的金剛石膜錶麵一般比較粗糙,需要經過拋光纔能實現其具體的工業應用.本文介紹瞭各種拋光CVD金剛石膜的方法及近來研究進展,分析瞭各種技術的優缺點,併結閤工業應用對CVD金剛石膜的拋光前景作瞭展望.
화학기상침적적금강석막표면일반비교조조,수요경과포광재능실현기구체적공업응용.본문개소료각충포광CVD금강석막적방법급근래연구진전,분석료각충기술적우결점,병결합공업응용대CVD금강석막적포광전경작료전망.
