佳木斯大学学报（自然科学版）
佳木斯大學學報（自然科學版）
가목사대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIAMUSI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2009年
1期
1-3,6
,共4页
王景贺%郭晓云%孟庆鑫%王洪祥%谷志强
王景賀%郭曉雲%孟慶鑫%王洪祥%穀誌彊
왕경하%곽효운%맹경흠%왕홍상%곡지강
KDP晶体%真空吸附%面形精度
KDP晶體%真空吸附%麵形精度
KDP정체%진공흡부%면형정도
建立KDP晶体与真空吸盘间有限元接触模型,并利用该模型分析吸气孔和吸气槽真空吸盘对KDP晶体面形精度的影响,分析了不同直径的吸气孔真空吸盘对KDP晶体变形的影响.结果表明:增大真空吸盘的占空比,可以减小完全吸附所需的真空度.吸气孔的直径越小,表面的变形越小.研究还发现,采用吸气孔吸附方式比采用吸气槽吸附方式可以得到更理想的面形质量.该结论对提高KDP晶体面形精度有着重要指导意义.利用超精密机床采用真空孔吸附方式加工KDP晶体,加工出面形精度为1/2λ的表面.
建立KDP晶體與真空吸盤間有限元接觸模型,併利用該模型分析吸氣孔和吸氣槽真空吸盤對KDP晶體麵形精度的影響,分析瞭不同直徑的吸氣孔真空吸盤對KDP晶體變形的影響.結果錶明:增大真空吸盤的佔空比,可以減小完全吸附所需的真空度.吸氣孔的直徑越小,錶麵的變形越小.研究還髮現,採用吸氣孔吸附方式比採用吸氣槽吸附方式可以得到更理想的麵形質量.該結論對提高KDP晶體麵形精度有著重要指導意義.利用超精密機床採用真空孔吸附方式加工KDP晶體,加工齣麵形精度為1/2λ的錶麵.
건립KDP정체여진공흡반간유한원접촉모형,병이용해모형분석흡기공화흡기조진공흡반대KDP정체면형정도적영향,분석료불동직경적흡기공진공흡반대KDP정체변형적영향.결과표명:증대진공흡반적점공비,가이감소완전흡부소수적진공도.흡기공적직경월소,표면적변형월소.연구환발현,채용흡기공흡부방식비채용흡기조흡부방식가이득도경이상적면형질량.해결론대제고KDP정체면형정도유착중요지도의의.이용초정밀궤상채용진공공흡부방식가공KDP정체,가공출면형정도위1/2λ적표면.
