应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2009年
3期
477-481
,共5页
微光像增强器%近贴距离%在线测试
微光像增彊器%近貼距離%在線測試
미광상증강기%근첩거리%재선측시
鉴于近贴距离尤其第一近贴距离是影响分辨力最重要的因素,提出一种新的微光像增强器近贴距离在线测试方法.应用平行平板电容器原理,通过测量阴极面和微通道板输入面之间的电容值来测量第一近贴距离.利用多组电容值和第一近贴距拟合出二者的函数关系式,通过精度分析,对函数关系式进行了修订及验证,测量最大偏差11.9%,满足精度要求.借助在线监控测试第一近贴距离,使压封过程处于受控状态,以便实现近贴距离的精密调控,达到提高微光像增强器分辨力的目的.该方法可推广到其他小间距的在线监控测试.
鑒于近貼距離尤其第一近貼距離是影響分辨力最重要的因素,提齣一種新的微光像增彊器近貼距離在線測試方法.應用平行平闆電容器原理,通過測量陰極麵和微通道闆輸入麵之間的電容值來測量第一近貼距離.利用多組電容值和第一近貼距擬閤齣二者的函數關繫式,通過精度分析,對函數關繫式進行瞭脩訂及驗證,測量最大偏差11.9%,滿足精度要求.藉助在線鑑控測試第一近貼距離,使壓封過程處于受控狀態,以便實現近貼距離的精密調控,達到提高微光像增彊器分辨力的目的.該方法可推廣到其他小間距的在線鑑控測試.
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