微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
9期
546-550,556
,共6页
任豪%姚军%胡放荣%邱传凯
任豪%姚軍%鬍放榮%邱傳凱
임호%요군%호방영%구전개
微机电系统%静电排斥驱动器%蛇形弹簧梁%模态%行程%带宽
微機電繫統%靜電排斥驅動器%蛇形彈簧樑%模態%行程%帶寬
미궤전계통%정전배척구동기%사형탄황량%모태%행정%대관
提出了一种基于静电排斥效应的MEMS离面驱动器,在消除静电拉入效应的同时得到了较大的静电排斥力.驱动器主要由三个下极板、一个上极板和弹簧梁组成.首先进行了静电排斥现象原理的分析,然后对弹簧梁中有和没有横梁时的弹性系数和模态进行了详细分析和对比,最后对驱动器的行程、驱动力、频率响应和带宽等性能进行了分析.结果表明,存在横梁时结构更加稳定,施加200 V电压时,结构有2.5μm的位移和28μN的驱动力,而且带宽约为7 kHZ.该驱动器可运用于光通信和空间光调制等领域.
提齣瞭一種基于靜電排斥效應的MEMS離麵驅動器,在消除靜電拉入效應的同時得到瞭較大的靜電排斥力.驅動器主要由三箇下極闆、一箇上極闆和彈簧樑組成.首先進行瞭靜電排斥現象原理的分析,然後對彈簧樑中有和沒有橫樑時的彈性繫數和模態進行瞭詳細分析和對比,最後對驅動器的行程、驅動力、頻率響應和帶寬等性能進行瞭分析.結果錶明,存在橫樑時結構更加穩定,施加200 V電壓時,結構有2.5μm的位移和28μN的驅動力,而且帶寬約為7 kHZ.該驅動器可運用于光通信和空間光調製等領域.
제출료일충기우정전배척효응적MEMS리면구동기,재소제정전랍입효응적동시득도료교대적정전배척력.구동기주요유삼개하겁판、일개상겁판화탄황량조성.수선진행료정전배척현상원리적분석,연후대탄황량중유화몰유횡량시적탄성계수화모태진행료상세분석화대비,최후대구동기적행정、구동력、빈솔향응화대관등성능진행료분석.결과표명,존재횡량시결구경가은정,시가200 V전압시,결구유2.5μm적위이화28μN적구동력,이차대관약위7 kHZ.해구동기가운용우광통신화공간광조제등영역.
