半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2011年
5期
368-372
,共5页
张立%于晋京%李耀东%刘佐星%程凤伶%库黎明
張立%于晉京%李耀東%劉佐星%程鳳伶%庫黎明
장립%우진경%리요동%류좌성%정봉령%고려명
线切割%翘曲度%切割速度%砂浆%磨削能力
線切割%翹麯度%切割速度%砂漿%磨削能力
선절할%교곡도%절할속도%사장%마삭능력
根据线切割机的工作原理,结合12英寸(1英寸=2.54 cm)单晶直径大、SiC磨削路线长和磨削发热量大的特点,制定了包括线速度、耗线量、砂浆温度、砂浆流量及各部分温度的工艺参数.根据单位时间内钢线的切割面积相等的理论设计了对称变化的切割速度曲线,又根据砂浆磨削能力的影响设计了非对称变化的切割速度曲线.用两种切割速度变化曲线进行了对比实验,根据实验结果确定在实际切割中必须考虑砂浆磨削能力的影响从而必须采用非对称的切割速度变化曲线.分析了影响线切割机加工质量的因素,并且给出了提高线切割机加工质量的改善方向.
根據線切割機的工作原理,結閤12英吋(1英吋=2.54 cm)單晶直徑大、SiC磨削路線長和磨削髮熱量大的特點,製定瞭包括線速度、耗線量、砂漿溫度、砂漿流量及各部分溫度的工藝參數.根據單位時間內鋼線的切割麵積相等的理論設計瞭對稱變化的切割速度麯線,又根據砂漿磨削能力的影響設計瞭非對稱變化的切割速度麯線.用兩種切割速度變化麯線進行瞭對比實驗,根據實驗結果確定在實際切割中必鬚攷慮砂漿磨削能力的影響從而必鬚採用非對稱的切割速度變化麯線.分析瞭影響線切割機加工質量的因素,併且給齣瞭提高線切割機加工質量的改善方嚮.
근거선절할궤적공작원리,결합12영촌(1영촌=2.54 cm)단정직경대、SiC마삭로선장화마삭발열량대적특점,제정료포괄선속도、모선량、사장온도、사장류량급각부분온도적공예삼수.근거단위시간내강선적절할면적상등적이론설계료대칭변화적절할속도곡선,우근거사장마삭능력적영향설계료비대칭변화적절할속도곡선.용량충절할속도변화곡선진행료대비실험,근거실험결과학정재실제절할중필수고필사장마삭능력적영향종이필수채용비대칭적절할속도변화곡선.분석료영향선절할궤가공질량적인소,병차급출료제고선절할궤가공질량적개선방향.
