中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2005年
6期
852-855
,共4页
仪器%频率混叠%非线性误差%外差干涉%误差分析
儀器%頻率混疊%非線性誤差%外差榦涉%誤差分析
의기%빈솔혼첩%비선성오차%외차간섭%오차분석
共光路外差干涉仪具有很高的分辨率,但因为安装、调试误差会产生非线性误差,影响系统的测量精度.着重分析了在共光路外差干涉仪中由激光光源的椭圆偏振化和沃拉斯顿棱镜的安装方位角误差同时存在的情况下,引起的频率混叠综合误差的大小及变化规律.结果发现其造成的非线性误差可达2.2 nm,同时还发现两者造成的误差在某些情况下存在一定程度的相互抵消作用.讨论了提高测量系统精度的有效措施,对正确设计和调试激光外差测试系统、提高测量系统精度具有重要意义.
共光路外差榦涉儀具有很高的分辨率,但因為安裝、調試誤差會產生非線性誤差,影響繫統的測量精度.著重分析瞭在共光路外差榦涉儀中由激光光源的橢圓偏振化和沃拉斯頓稜鏡的安裝方位角誤差同時存在的情況下,引起的頻率混疊綜閤誤差的大小及變化規律.結果髮現其造成的非線性誤差可達2.2 nm,同時還髮現兩者造成的誤差在某些情況下存在一定程度的相互牴消作用.討論瞭提高測量繫統精度的有效措施,對正確設計和調試激光外差測試繫統、提高測量繫統精度具有重要意義.
공광로외차간섭의구유흔고적분변솔,단인위안장、조시오차회산생비선성오차,영향계통적측량정도.착중분석료재공광로외차간섭의중유격광광원적타원편진화화옥랍사돈릉경적안장방위각오차동시존재적정황하,인기적빈솔혼첩종합오차적대소급변화규률.결과발현기조성적비선성오차가체2.2 nm,동시환발현량자조성적오차재모사정황하존재일정정도적상호저소작용.토론료제고측량계통정도적유효조시,대정학설계화조시격광외차측시계통、제고측량계통정도구유중요의의.
