中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
293-295
,共3页
刘妤%温志渝%张流强%梁玉前
劉妤%溫誌渝%張流彊%樑玉前
류여%온지투%장류강%량옥전
MEMS%CAD%微加速度传感器%系统级仿真%宏模型
MEMS%CAD%微加速度傳感器%繫統級倣真%宏模型
MEMS%CAD%미가속도전감기%계통급방진%굉모형
概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.
概述瞭適用于MEMS繫統倣真的幾種方法,著重介紹瞭這些方法的基本思想、缺點,併初步實現瞭典型扠指電容式微加速度傳感器的繫統級倣真.
개술료괄용우MEMS계통방진적궤충방법,착중개소료저사방법적기본사상、결점,병초보실현료전형차지전용식미가속도전감기적계통급방진.
