山东大学学报（工学版）
山東大學學報（工學版）
산동대학학보（공학판）
JOURNAL OF SHANDONG UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE)
2008年
5期
99-101,106
,共4页
田芳%郭晓丽%张颖欣%王倩%裘南畹
田芳%郭曉麗%張穎訢%王倩%裘南畹
전방%곽효려%장영흔%왕천%구남원
粉未溅射%最佳膜厚%响应时间
粉未濺射%最佳膜厚%響應時間
분미천사%최가막후%향응시간
利用反溅,发展了粉末溅射工艺;指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性;给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果;给出了SnO2 (100-x)/CeO2(x)最佳灵敏度的掺杂x%的范围;给出了灵敏度随膜厚变化的特征,以及一些薄膜的最佳膜厚lx的数值;给出了响应时间随膜厚变化的规律.
利用反濺,髮展瞭粉末濺射工藝;指齣瞭粉末濺射對研製穩定的薄膜氣敏元件的重要性;給齣瞭粉末摻雜比與薄膜摻雜比關繫的實驗結果;給齣瞭SnO2 (100-x)/CeO2(x)最佳靈敏度的摻雜x%的範圍;給齣瞭靈敏度隨膜厚變化的特徵,以及一些薄膜的最佳膜厚lx的數值;給齣瞭響應時間隨膜厚變化的規律.
이용반천,발전료분말천사공예;지출료분말천사대연제은정적박막기민원건적중요성;급출료분말참잡비여박막참잡비관계적실험결과;급출료SnO2 (100-x)/CeO2(x)최가령민도적참잡x%적범위;급출료령민도수막후변화적특정,이급일사박막적최가막후lx적수치;급출료향응시간수막후변화적규률.
