红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2010年
10期
579-582
,共4页
万锐敏%黄晖%陈雪梅%龚晓霞%胡赞东%姬荣斌
萬銳敏%黃暉%陳雪梅%龔曉霞%鬍讚東%姬榮斌
만예민%황휘%진설매%공효하%호찬동%희영빈
碲锌镉单晶片%沉积相%开管退火%Cd源%氢气氛
碲鋅鎘單晶片%沉積相%開管退火%Cd源%氫氣氛
제자력단정편%침적상%개관퇴화%Cd원%경기분
报道了一种CZT单晶片退火的新装置和新工艺,可以方便有效的对CZT单晶片进行开管退火.主要研究了氢气氛下加Cd源开管退火对CZT晶片中沉积相的影响.研究发现:经过开管退火处理后CZT晶片中的沉积相颗粒的密度和尺寸都明显减小,有效消除了Te沉积相,大颗粒的Cd沉积相尺寸也明显减小.
報道瞭一種CZT單晶片退火的新裝置和新工藝,可以方便有效的對CZT單晶片進行開管退火.主要研究瞭氫氣氛下加Cd源開管退火對CZT晶片中沉積相的影響.研究髮現:經過開管退火處理後CZT晶片中的沉積相顆粒的密度和呎吋都明顯減小,有效消除瞭Te沉積相,大顆粒的Cd沉積相呎吋也明顯減小.
보도료일충CZT단정편퇴화적신장치화신공예,가이방편유효적대CZT단정편진행개관퇴화.주요연구료경기분하가Cd원개관퇴화대CZT정편중침적상적영향.연구발현:경과개관퇴화처리후CZT정편중적침적상과립적밀도화척촌도명현감소,유효소제료Te침적상,대과립적Cd침적상척촌야명현감소.
