微波铁氧体器件薄膜的制备及性能研究
미파철양체기건박막적제비급성능연구
Preparation and Properties of Microwave Ferrite Thin Films
  • 万方数据
    杭州电子科技大学学报 항주전자과기대학학보
    JOURNAL OF HANGZHOU DIANZI UNIVERSITY
    2010年 5期 1-4 ,共4页

    杨已青%郑梁%武军%刘建%秦会斌%胡冀%徐军明

    양이청%정량%무군%류건%진회빈%호기%서군명

    铁氧体薄膜%磁控溅射%矫顽力 鐵氧體薄膜%磁控濺射%矯頑力
    철양체박막%자공천사%교완력
    该文采用RF磁控溅射工艺制备了射频薄膜电感用的铁氧体薄膜.为了降低铁氧体薄膜在高频下的涡流损耗、剩余损耗等,通过对铁氧体材料的磁特性分析,研究了不同的温度、成分掺杂对铁氧体磁性能的影响,获得了矫顽力为5.619 6Guss的铁氧体薄膜,并采用SEM、XRD对铁氧体薄膜表面结构进行了表征,采用VSM对薄膜磁性能进行了测试.
    해문채용RF자공천사공예제비료사빈박막전감용적철양체박막.위료강저철양체박막재고빈하적와류손모、잉여손모등,통과대철양체재료적자특성분석,연구료불동적온도、성분참잡대철양체자성능적영향,획득료교완력위5.619 6Guss적철양체박막,병채용SEM、XRD대철양체박막표면결구진행료표정,채용VSM대박막자성능진행료측시.
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