微机构可调谐阵列滤光片的设计与模型分析 
미궤구가조해진렬려광편적설계여모형분석 
DESIGN AND MODEL ANALYSIS OF TUNABLE OPTICAL FILTER ARRAY BASED ON MICROSTRUCTURE TECHNIQUE
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2001年 9期 1150-1152 ,共3页

    陈日文%刘旭%李海峰

    진일문%류욱%리해봉

    MEMS%微空腔%阵列滤光片 MEMS%微空腔%陣列濾光片
    MEMS%미공강%진렬려광편
    提出一种新颖的采用薄膜技术在玻璃基底上构造微机构可调谐二维窄带滤光片阵列的方法对器件进行了膜系设计及光谱响应模拟通过器件的电动力学模型分析，设计出器件的形状与尺寸
    제출일충신영적채용박막기술재파리기저상구조미궤구가조해이유착대려광편진렬적방법대기건진행료막계설계급광보향응모의통과기건적전동역학모형분석，설계출기건적형상여척촌
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