中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2006年
3期
385-390
,共6页
激光技术%光热反射%多参数拟合%热扩散率%界面热阻
激光技術%光熱反射%多參數擬閤%熱擴散率%界麵熱阻
격광기술%광열반사%다삼수의합%열확산솔%계면열조
在考虑探测光束光斑尺寸对调制光热反射(MPR)信号影响的基础上,建立了三维的薄膜-衬底体系的激光光热反射理论模型.对利用激光光热反射技术测量薄膜热物性的可行性进行了研究,并对影响调制光热反射信号的材料参数进行了分析.此外,通过数值模拟研究了多参数拟合问题,即利用调制光热反射频响信号同时确定薄膜热扩散率、衬底热扩散率和界面热阻这三个物理参数.结果表明,与已有的径向扫描方法相比,频率扫描方法中的这三个参数之间并不存在高度的相关性,因此采用频响信号进行多参数拟合,可提高多参数拟合的收敛性和精确性.
在攷慮探測光束光斑呎吋對調製光熱反射(MPR)信號影響的基礎上,建立瞭三維的薄膜-襯底體繫的激光光熱反射理論模型.對利用激光光熱反射技術測量薄膜熱物性的可行性進行瞭研究,併對影響調製光熱反射信號的材料參數進行瞭分析.此外,通過數值模擬研究瞭多參數擬閤問題,即利用調製光熱反射頻響信號同時確定薄膜熱擴散率、襯底熱擴散率和界麵熱阻這三箇物理參數.結果錶明,與已有的徑嚮掃描方法相比,頻率掃描方法中的這三箇參數之間併不存在高度的相關性,因此採用頻響信號進行多參數擬閤,可提高多參數擬閤的收斂性和精確性.
재고필탐측광속광반척촌대조제광열반사(MPR)신호영향적기출상,건립료삼유적박막-츤저체계적격광광열반사이론모형.대이용격광광열반사기술측량박막열물성적가행성진행료연구,병대영향조제광열반사신호적재료삼수진행료분석.차외,통과수치모의연구료다삼수의합문제,즉이용조제광열반사빈향신호동시학정박막열확산솔、츤저열확산솔화계면열조저삼개물리삼수.결과표명,여이유적경향소묘방법상비,빈솔소묘방법중적저삼개삼수지간병불존재고도적상관성,인차채용빈향신호진행다삼수의합,가제고다삼수의합적수렴성화정학성.
